Аннотация:
Исследовались слои ZnSe и ZnCd$_x$Se ($x\sim$ 0.32–0.35), выращенные на подложках GaAs (001) методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Изучалось влияние электронного пучка на изменения кристаллической структуры изучаемых образцов и люминесцентные свойства. Исследования проводились методами катодолюминесценции, просвечивающей электронной микроскопии и методом рентгеноспектрального микроанализа.
Установлено, что в результате облучения образцов в просвечивающем электронном микроскопе происходит отжиг дефектов упаковки, сопровождаемый образованием преципитатов ZnO c гексагональной кристаллической структурой. Облучение образцов в катодолюминесцентной установке приводит к уменьшению интенсивности катодолюминесценции исследуемых слоев ZnSe и ZnCd$_x$Se из-за радиационно-стимулированных процессов деградации.