Международная конференция ФизикА.СПб/2023

Исследование фотоиндуцированных процессов в единичных твердотельных нанопорах с интегрированными плазмонными структурами

Н. В. Ваулин^ab, П. К. Афоничева^b, Д. В. Лебедев^abc, А. С. Букатин^ab, И. С. Мухин^a, А. А. Евстрапов<sup>b

a</sup> Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
^b Институт аналитического приборостроения РАН, Санкт-Петербург, Россия
^c Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Исследуются транспортные свойства твердотельных нанопор с интегрированными плазмонными антеннами-“бабочками”. Плазмонные антенны были сформированы на “свободно подвешенных” SiN-мембранах толщиной 20 nm. Нанопоры диаметром $\sim$5 nm были сформированы в областях между половинами плазмонных антенн-бабочек. Облучение области нанопоры лазером с длиной волны 632 nm приводит к повышению уровня ионного тока и росту удельной проводимости пóры на 10%. Облучение мембраны аналогичной толщины без нанопоры не приводит к устойчивому повышению уровня тока. Рост проводимости нанопоры может быть связан с изменением конфигурации двойных электрических слоев на стенках по́ры, а также с локальным нагревом области пóры, вызванным наличием плазмонных структур.

Ключевые слова: SiN-мембрана, плазмонные антенны, микрофлюидика, ионный транспорт, оптическая литография.

Поступила в редакцию: 19.05.2023
Исправленный вариант: 26.07.2023
Принята в печать: 30.10.2023

DOI: 10.61011/FTT.2023.12.56760.5216k

Реферативные базы данных:

•