Международная конференция ФизикА.СПб/2023

Оптимизация металл-индуцированной лазер-стимулированной кристаллизации пленок кремния на гибкой подложке путем варьирования толщины слоя алюминия

Л. Д. Волковойнова, А. А. Сердобинцев

Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского, Саратов, Россия

Аннотация: Изучается влияние толщины слоя алюминия на степень кристаллизации кремния после облучения тонкопленочной структуры Al/Si на гибкой полиимидной подложке импульсным инфракрасным лазерным излучением.

Ключевые слова: кристаллизация аморфного кремния, металл-индуцированная кристаллизация, лазер-стимулированная кристаллизация, инфракрасное лазерное излучение, гибкая электроника.

Поступила в редакцию: 16.05.2023
Исправленный вариант: 05.09.2023
Принята в печать: 30.10.2023

DOI: 10.61011/FTT.2023.12.56753.5004k

Реферативные базы данных:

•