Международная конференция ФизикА.СПб/2023

Рост ориентированных многостенных углеродных нанотрубок на структурах SiO$_2$/Si, модифицированных ионным облучением

В. В. Болотов^a, Е. В. Князев^ab, С. Н. Поворознюк^a, Ю. А. Стенькин<sup>a

a</sup> Омский научный центр СО РАН, Омск, Россия
^b Омский государственный технический университет, Омск, Россия

Аннотация: Исследованы морфологические параметры слоев вертикально ориентированных многостенных углеродных нанотрубок (МУНТ) на различных этапах синтеза. Показано, что в результате ионной обработки ростовой подложки происходит более интенсивный и однородный рост многостенных углеродных нанотрубок. Модификация ростовой подложки увеличивает количество мест закрепления частиц катализатора на поверхности, что приводит к формированию боле однородного слоя нанотрубок на подложке. Анализ данных полученных методом энергодисперсионного анализа, показал корреляцию эффекта увеличения плотности МУНТ с дозой ионной обработки поверхности. Предварительная обработка поверхности ростовой подложки ионным облучением способствует снижению неоднородности слоя нанотрубок.

Ключевые слова: вертикально ориентированные многостенные углеродные нанотрубки, химическое осаждение из газовой фазы, ионное облучение, растровая электронная микроскопия.

Поступила в редакцию: 12.05.2023
Исправленный вариант: 10.07.2023
Принята в печать: 30.10.2023

DOI: 10.61011/FTT.2023.12.56736.5061k

Реферативные базы данных:

•