Международная конференция ФизикА.СПб/2023

Влияние кислорода на процесс формирования наноструктурированных пленок оксида индия-олова

В. В. Аксенова, И. П. Смирнова, Л. К. Марков, А. С. Павлюченко, М. А. Яговкина

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Исследовалось влияние наличия кислорода в смеси рабочих газов на процесс формирования пленок, полученных магнетронным распылением оксида индия-олова при высоких температурах. Добавление кислорода в рабочую атмосферу меняет механизм роста пленок. Пленки, выращенные в бескислородной плазме, представляют собой массив нитевидных нанокристаллов, а пленки, выращенные в кислородосодержащей среде, имеют слабо структурированную поверхность. По данным рентгеноструктурного анализа пленки различаются как по направлению преимущественной кристаллографической ориентации, так и по ее степени. В работе также сравниваются оптические характеристики исследуемых пленок.

Ключевые слова: наноструктурированные пленки, ITO, прозрачные проводящие оксиды, магнетронное распыление, рентгенофазовый анализ.

Поступила в редакцию: 11.05.2023
Исправленный вариант: 30.07.2023
Принята в печать: 30.10.2023

DOI: 10.61011/FTT.2023.12.56727.5065k

Реферативные базы данных:

•