Международная конференция ФизикА.СПб/2023

Создание однородного поля температурного градиента для реализации метода термомиграции в кремнии

Б. М. Середин^a, В. П. Попов^a, А. Н. Заиченко^a, А. В. Малибашев^a, И. В. Гаврус^a, А. А. Минцев^a, А. А. Скиданов<sup>b

a</sup> ФГБОУ ВПО «Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) им. М. И. Платова», Новочеркасск, Россия
^b АО "ВЗПП-Микрон", Воронеж, Россия

Аннотация: Компьютерным моделированием температурного поля плоского резистивного нагревателя в виде параллельных полос, применяемого для проведения термомиграции жидких зон в пластинах кремния, выявлены два типа локальных неоднородностей градиента температуры. Монотонные радиальные изменения температуры связаны с охлаждением или нагревом периферии пластины, а периодические – с полосами нагревателя. Оба типа неоднородностей подтверждены наблюдаемыми траекториями термомиграции системы зон на основе алюминия. Найдены условия создания однородного поля температурного градиента для применения термомиграции в полупроводниковой технологии.

Ключевые слова: термомиграция, градиент температуры, моделирование.

Поступила в редакцию: 26.04.2023
Исправленный вариант: 17.07.2023
Принята в печать: 30.10.2023

DOI: 10.61011/FTT.2023.12.56720.4914k

Реферативные базы данных:

•