Аннотация:
Приведены результаты исследования параметров ионной системы твердого электролита – фосфор-оксинитрида лития (LiPON) методом релаксации напряжения на поляризованной структуре Ti|LiPON|Ti. Измерения проводились при температурах 223, 248, 273 и 300 K на стенде, состоящем из термостата, зарядного устройства, устройства переключения режимов заряд–разряд и регистрирующего тракта. Тестовые образцы в виде структур Ti|LiPON|Ti, заряженные до напряжения 1 V, разряжались через внешнюю нагрузку номиналом 1 M$\Omega$, 100, 10 и 1 k$\Omega$ и 100 и 10 $\Omega$ и регистрировались кривые $U(t)$. Разработана математическая модель диффузионной релаксации поляризации, аппроксимирующая разрядные кривые $U(t)$. Методом подгонки параметров аппроксимирующей зависимости определены: равновесная концентрация ионов лития, эффективная толщина двойного электрического слоя и время объемной релаксации неравновесных ионов.