XXVII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 13-16 марта 2023 г.
Металлы

Синтез тонких пленок иридатов стронция путем катодного распыления: сравнение с традиционной технологией лазерной абляции

Ю. В. Кислинский^a, И. Е. Москаль^a, А. М. Петржик^a, А. В. Шадрин^ab, Г. А. Овсянников<sup>a

a</sup> Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Москва, Россия
^b Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Московская облаcть, г. Долгопрудный

Аннотация: Представлена технология получения структурированных тонких пленок иридата стронция составов SrIrO$_3$ и Sr$_2$IrO$_4$ методом катодного распыления на постоянном токе. Оба состава были синтезированы с использованием стехиометрической мишени Sr$_2$IrO$_4$, варьировались лишь технологические параметры. Состав получаемых пленок определяли рабочее давление и температура. Обсуждаются электрофизические и структурные свойства полученных диэлектрических Sr$_2$IrO$_4$ и “металлических” SrIrO$_3$-пленок. Диэлектрическая серия сравнивается с ранее полученными методом лазерной абляции Sr$_2$IrO$_4$-пленками.

Ключевые слова: иридат стронция, катодное распыление, металлы, неупорядоченные структуры, прыжковая проводимость, энергия активации носителей тока.

Поступила в редакцию: 17.04.2023
Исправленный вариант: 17.04.2023
Принята в печать: 11.05.2023

DOI: 10.21883/FTT.2023.07.55827.36H

Реферативные базы данных:

•