Физика поверхности, тонкие пленки

Полученные плазменно-химическим осаждением a-C : ND покрытия: взаимосвязь эмиссионных свойств и фазового состава

И. А. Завидовский, О. А. Стрелецкий, А. А. Татаринцев, К. Ф. Миннебаев, А. А. Хайдаров

Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Москва, Россия

Аннотация: Рассмотрены покрытия, содержащие фазы на основе наноалмазов и аморфного углерода (a-C : ND-покрытия), синтезированные методом химического газофазного осаждения в плазме дугового разряда (плазменно-химического осаждения) при различных относительных концентрациях Ar/H$_2$/CH$_4$. По данным спектроскопии комбинационного рассеяния, исследуемые покрытия помимо алмазной субструктуры содержат фазы на основе аморфного углерода и полиенов, тогда как алмазная фаза пассивирована водородом в различной степени. Рассмотрена взаимосвязь между параметрами осаждения и структурой материалов. Показано, что упорядоченность аморфной субструктуры и формирование границ раздела фаз оказывают влияние на свойства электронного транспорта и вторичной электронной эмиссии. Рассмотрен вопрос анализа спектров истинно вторичных электронов в применении к аттестации наноструктурированных углеродных образцов. Показано, что изменение доли полиенов в структуре образцов приводит к вариации соотношения автоэлектронной и надбарьерной эмиссии. Рассмотрено влияние структурного и фазового состава образцов на их эмиссионные характеристики, в частности, на поле активации эмиссии, значение которого для исследуемых образцов варьировалось в диапазоне 9–18 V/$\mu$m.

Ключевые слова: наноалмазные композиты, полиеноподобные материалы, транспорт электронов, водородная пассивация, поле активации эмиссии.

Поступила в редакцию: 18.12.2022
Исправленный вариант: 18.12.2022
Принята в печать: 24.01.2023

DOI: 10.21883/FTT.2023.04.55306.556

Реферативные базы данных:

•