Полупроводники

Определение растворимости кобальта в монокристаллическом кремнии методом нейтронно-активационного анализа

М. Ю. Ташметов^a, Ш. Махкамов^a, T. С. Тиллаев^a, М. Н. Эрдонов^a, Х. М. Холмедов<sup>b

a</sup> Институт ядерной физики АН Узбекистана, Ташкент, Узбекистан
^b Ташкентский университет информационных технологий им. аль-Хорезми, Ташкент, Узбекистан

Аннотация: Методом инструментального нейтронно-активационного анализа исследована растворимость в монокристаллическом кремнии примеси кобальта, легированного путем термодиффузии. Показано, что в $n$-Si в интервале температур диффузии 1000–1250$^\circ$С общая растворимость примеси $^{60}$Со изменяется в пределах концентрации 2.8 $\cdot$ 10$^{14}$–9 $\cdot$ 10$^{15}$ cm$^{-3}$, а электрически активная концентрация увеличивается от 10$^{13}$ до 3 $\cdot$ 10$^{14}$ cm$^{-3}$. Для уменьшения погрешности при определении концентрации $^{60}$Со в легированных образцах Si, предложено использовать материнский стабильной изотоп, а не дочерний радионуклид кобальта в качестве лигатуры.

Ключевые слова: монокристаллический кремний, примесь кобальта, диффузия, нейтронно-активационный анализ, растворимость, облучение, радионуклид, концентрация.

Поступила в редакцию: 23.02.2022
Исправленный вариант: 23.02.2022
Принята в печать: 24.02.2022

DOI: 10.21883/FTT.2023.04.55288.557

Реферативные базы данных:

•