RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2024, том 66, выпуск 12, страницы 2163–2167 (Mi ftt10526)

Международная конференция ФизикА.СПб/2024
Физика поверхности, тонкие пленки

Нанокристаллический диоксид циркония для функциональных применений, полученный осаждением из плазмы дугового разряда низкого давления

Л. Ю. Федоровab, И. В. Карповab

a Федеральный исследовательский центр Красноярский научный центр Сибирского отделения РАН, Красноярск, Россия
b Сибирский федеральный университет, Красноярск, Россия

Аннотация: Рассмотрен управляемый вакуумно-дуговой синтез наночастиц и нанокристаллических слоев на основе диоксида циркония ZrO$_2$, позволяющий регулировать процентное соотношение моноклинной и тетрагональной фаз. Образование тетрагональной фазы связано с формированием большого количества кислородных вакансий, образующихся за счёт высокоскоростной закалки наночастиц. Образцы были охарактеризованы при помощи рентгенофазового анализа. Электрические свойства образцов исследованы методом импедансной спектроскопии и измерением вольт-амперных характеристик. Установлена зависимость диэлектрической проницаемости и проводимости в режиме постоянного тока от фазового состава. Сосуществование фаз $m$- и $t$-ZrO$_2$ обеспечивают дефицит кислорода в объеме образца. Это способствует формированию двух обратимых состояний сопротивления – эффект резистивного переключения.

Ключевые слова: вакуумная дуга, оксид циркония, мемристор, кислородные вакансии.

Поступила в редакцию: 30.04.2024
Исправленный вариант: 28.10.2024
Принята в печать: 30.10.2024

DOI: 10.61011/FTT.2024.12.59586.6393PA



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026