Аннотация:
Исследована диффузия магния в бездислокационном кремнии, выращенном методом Чохральского (Cz–Si) с концентрацией кислорода $\sim$(1.2–1.6) $\cdot$ 10$^{17}$ cm$^{-3}$. Проведено сравнение температурной зависимости коэффициента диффузии магния с данными, полученными ранее в Cz–Si с бóльшей концентрацией кислорода $\sim$(3–4) $\cdot$10$^{17}$ cm$^{-3}$. Значения коэффициента диффузии, измеренные при температурах $T$ = 1100–1250$^\circ$C, оказались больше в кремнии с меньшей концентрацией кислорода. Обработка экспериментальных данных проводилась в рамках модели диффузии ограниченной ловушками, в которой замедление диффузии происходит в результате захвата межузельных атомов Mg центрами, связанными с кислородом. Определена энергия связи центров захвата $\sim$2.2 eV.
Ключевые слова:
кремний, выращенный методом Чохральского, магний, диффузия, глубокие доноры.
Поступила в редакцию: 23.05.2024 Исправленный вариант: 23.05.2024 Принята в печать: 24.05.2024
Полный текст:
PDF файл (166 kB)