RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Доклады Академии наук // Архив

Докл. АН СССР, 1973, том 213, номер 1, страницы 74–76 (Mi dan37907)

ФИЗИКА

К теории смещения атомов при ионной имплантации

В. В. Юдин


Статья представлена к публикации: Л. А. Арцимович
Поступило: 01.02.1973



© МИАН, 2026