RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Доклады Академии наук
// Архив
Докл. АН СССР,
1973
, том 213,
номер 1,
страницы
74–76
(Mi dan37907)
ФИЗИКА
К теории смещения атомов при ионной имплантации
В. В. Юдин
Статья представлена к публикации:
Л. А. Арцимович
Поступило: 01.02.1973
Полный текст:
PDF файл (398 kB)
©
МИАН
, 2026