ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Датчик Гартмана на основе многоэлементных амплитудных масок с аподизированными апертурами

А. Г. Полещук^a, А. Г. Седухин^a, В. И. Трунов^b, В. Г. Максимов<sup>c

a</sup> Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск
^b Институт лазерной физики СО РАН, г. Новосибирск
^c Институт мониторинга климатических и экологических систем СО РАН, г. Томск

Аннотация: Представлено теоретическое и экспериментальное исследование датчика Гартмана, служащего для контроля волнового фронта световых пучков и выполненного на основе многоэлементных амплитудных масок с аподизированными апертурами. Проведён сравнительный анализ оптических характеристик амплитудных масок с резко ограниченными круглыми апертурами и полутоновых масок (ПМ) с аподизированными апертурами, формирующими световые пятна на фотосенсоре в виде плавных быстрозатухающих функций. Разработан и исследован метод изготовления хромовых ПМ на основе лазерного термохимического метода записи. Метод включает в себя два основных этапа: экспонирование плёнки хрома сфокусированным лазерным пучком с мощностью, изменяющейся плавно и нелинейно в зависимости от требуемой плотности структуры ПМ, а также проявку плёнки в селективном травителе. Экспериментально изготовлены образцы ПМ, состоящие из 64$\times$64 Гауссовых апертур. Изготовленные ПМ применены в модифицированном датчике Гартмана для контроля формы волнового фронта мощных лазерных систем.

Ключевые слова: датчик волнового фронта, датчик Гартмана, аподизация, полутоновая лазерная запись.

Поступила в редакцию: 12.10.2014