Формирование мультислойных структур ZnS/SiO₂ ВЧ магнетронным напылением на модернизированной установке катод-1м

С. С. Алалыкин, Р. М. Закирова, В. Ф. Кобзиев, П. Н. Крылов, И. В. Федотова

Удмуртский государственный университет, 426034, г. Ижевск, ул. Университетская, 1

Аннотация: Представлены результаты по использованию разработанного программно-аппаратного комплекса для получения мультислойных структур ZnS/SiO₂ с заданными толщинами слоев.

Ключевые слова: ВЧ магнетронное напыление, программно-аппаратный комплекс, мультислойные структуры ZnS/SiO₂.

УДК: 621.793.1