Формирование наноразмерных поверхностных слоёв Армко-железа, нержавеющей стали и меди имплантацией ионов N$^+$ и O$^+$

В. Л. Воробьёв, Ф. З. Гильмутдинов, П. В. Быков, В. Я. Баянкин

Физико-технический институт Уральского отделения РАН, 426000, г. Ижевск, ул. Кирова, 132

Аннотация: В работе исследовано влияние имплантации ионов О$^+$ и N$^+$ в импульсно-периодическом режиме (f=100 Гц, t=1 мс) с энергией ионов 30 кэВ, плотностью тока в импульсе 3 мА/см$^2$ и дозами облучения 10$^{17}$ и $5\cdot10^{17}$ ион/см$^2$ на формирование состава наноразмерных поверхностных слоёв образцов армко-железа, нержавеющей стали Х18Н10Т и меди марки М0. Показано, что формирование наноразмерных поверхностных слоёв ионной имплантацией определяется не только процессами физической природы, всегда сопровождающими облучение, но и химической активностью имплантируемых ионов к компонентам сплава.

Ключевые слова: ионная имплантация, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, химический состав, наноразмерные поверхностные слои.

УДК: 537.534:539.422.24:620.178.152.34