Влияние температуры подложки на оптические свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных струйным плазмохимическим методом

В. И. Струнин, Л. В. Баранова

Омский государственный университет им. Ф.М. Достоевского, 644077, г. Омск, пр. Мира, 55-А

Аннотация: Проведены исследования пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных струйным плазмохимическим способом, определена ширина запрещенной зоны, вычислена концентрация водорода в пленках, а также определена зависимость ширины запрещенной зоны от концентрации водорода и температуры подложки.

Ключевые слова: аргон-силановая плазма, тлеющий разряд, струйный плазмохимический способ, ширина запрещенной зоны, структура пленок, осаждение тонких пленок, тонкие пленки аморфного кремния.

УДК: 538.958