ФИЗИКА

Разработка и создание базовых компонентов вакуумной микроэлектроники

М. Д. Бавижев^a, Бавижев Заур Рамазанович<sup>b

a</sup> Северо-Кавказский государственный технический университет
^b Акционерное общество Научно-производственное предприятие «Радий»

Аннотация: В работе представлены результаты масштабной научно-исследовательской работы коллектива ученых АО «НПП «Радий» и КБГУ по созданию опытных образцов автоэмиссионных катодов, сеточных узлов и макета вакуумного микротриода как базовых компонентов вакуумной микроэлектроники и исследованию их параметров. Конструкция макета включает катод с автоэмиссионной пленкой, выполненной в виде селективной полоски, размещенной на кремниевой подложке, а также анодно-сеточной узел (АСУ), который также сформирован на кремниевой основе.

Ключевые слова: вакуумная микроэлектроника, холодный катод, кремниевая сетка, триод

УДК: 621.385.3

Поступила в редакцию: 18.04.2025
Исправленный вариант: 15.06.2025
Принята в печать: 21.06.2025

DOI: 10.47928/1726-9946-2025-25-2-25-36

Реферативные базы данных:

•