|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Преимущественное распыление сплава NiTi атомарными и кластерными ионами
Письма в ЖТФ, 49:11 (2023), 34–38
-
Преимущественное распыление при облучении сплавов газовыми кластерными ионами
ЖТФ, 92:12 (2022), 1943–1950
-
Аморфизация кремниевых нанонитей при облучении ионами аргона
Письма в ЖТФ, 48:2 (2022), 11–14
-
Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач
УФН, 192:7 (2022), 722–753
-
Влияние зарядового состояния ионов ксенона на профиль распределения по глубине при имплантации в кремний
Физика и техника полупроводников, 53:8 (2019), 1030–1036
-
In situ модификация и анализ состава и кристаллической структуры кремниевой мишени с помощью ионно-пучковых методик
ЖТФ, 88:12 (2018), 1900–1907
-
Изучение профиля распределения железа, имплантированного в кремний
Физика и техника полупроводников, 51:6 (2017), 778–782
-
Полировка поверхности сверхтвердых материалов пучками газовых кластерных ионов
Письма в ЖТФ, 43:2 (2017), 18–23
-
Формирование кластерных ионов различных газов в режиме импульсной подачи газа
Письма в ЖТФ, 41:22 (2015), 8–14
-
Механизмы дефектообразования и рекристаллизации в пленках кремния на сапфире при ионном облучении
Физика и техника полупроводников, 48:4 (2014), 535–538
-
Формирование ультратонких слоев кремния на сапфире
Письма в ЖТФ, 38:19 (2012), 83–89
-
Имплантация высокоэнергетичных ионов под действием фемтосекундного лазерного излучения
Квантовая электроника, 35:1 (2005), 33–37
© , 2026