RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Иванов Александр Сергеевич
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Мощный источник света в экстремальном УФ диапазоне (13.5 нм)
Квантовая электроника
,
40
:8 (2010),
720–726
Лазерно-инициируемые источники экстремального ультрафиолетового излучения для производства интегральных схем следующего поколения
Квантовая электроника
,
39
:10 (2009),
967–972
Разработка мощных KrF-лазеров с частотой повторения импульсов до 5 кГц
Квантовая электроника
,
30
:9 (2000),
783–786
©
МИАН
, 2026