|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)
УФН, 189:3 (2019), 323–334
-
Яркостный источник ЭУФ излучения на основе лазерной плазмы при использовании капельной жидкометаллической мишени
Квантовая электроника, 46:5 (2016), 473–480
-
Источник ЭУФ лазерно-индуцированного излучения высокой яркости на основе оловянной плазмы с неограниченным ресурсом электродов
Квантовая электроника, 46:1 (2016), 81–87
-
Формирование мелкодисперсной жидкометаллической мишени под действием лазерных импульсов фемто- и пикосекундной длительности для лазерного плазменного источника в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне
Квантовая электроника, 46:1 (2016), 23–28
-
Рентгеновский лазер с длиной волны излучения 32.8 нм, образованный в потоке кластеров криптона
Квантовая электроника, 43:12 (2013), 1099–1106
-
Мощный источник света в экстремальном УФ диапазоне (13.5 нм)
Квантовая электроника, 40:8 (2010), 720–726
-
Лазерно-инициируемые источники экстремального ультрафиолетового излучения для производства интегральных схем следующего поколения
Квантовая электроника, 39:10 (2009), 967–972
-
О предельных частотах повторения импульсов XeF-лазера
Квантовая электроника, 30:10 (2000), 881–883
-
Разработка мощных KrF-лазеров с частотой повторения импульсов до 5 кГц
Квантовая электроника, 30:9 (2000), 783–786
-
О стабильности генерации компактного KrF-лазера мощностью 600 Вт
Квантовая электроника, 25:2 (1998), 131–134
-
Компактный KrF-лазер мощностью 600 Вт
Квантовая электроника, 25:2 (1998), 126–130
-
Pumping rate of electric-discharge excimer lasers
Квантовая электроника, 22:6 (1995), 533–536
-
Oграничениe средней мощности в компактных импульсно-периодических KrF-лазерах
Квантовая электроника, 22:5 (1995), 446–450
-
Импульсно-периодический XeCl-лазер мощностью 600 Вт для технологических применений
Квантовая электроника, 18:2 (1991), 183–185
-
Импульсно-периодический электроразрядный ХеСl-лазер
Квантовая электроника, 17:2 (1990), 164–165
-
ВКР-преобразование излучения с λ = 308 нм и частотой повторения импульсов до 600 Гц в сжатом водороде
Квантовая электроника, 15:10 (1988), 2030–2037
-
Расходимость излучения электроразрядного XeCl-лазера в импульсно-периодическом режиме
Квантовая электроника, 15:9 (1988), 1712–1719
-
Широкоапертурная электроразрядная система с УФ предыонизацией для импульсно-периодического XeCl-лазера
Квантовая электроника, 14:11 (1987), 2168–2174
-
Об акустических колебаниях в газоразрядной камере быстропроточного импульсно-периодического лазера
Квантовая электроника, 14:6 (1987), 1206–1212
-
Эффекты эволюции энергии генерации в импульсно-периодическом эксимерном лазере на XeCl со средней мощностью ~ 400 Вт
Квантовая электроника, 14:5 (1987), 936–942
-
Приэлектродные эффекты в импульсно-периодическом эксимерном лазере
Квантовая электроника, 13:12 (1986), 2403–2407
-
ВКР излучения электроразрядного импульсно-периодического XeCl-лазера в сжатом H2
Квантовая электроника, 12:5 (1985), 1100–1102
-
Влияние приэлектродных процессов на контрагирование объемного разряда в импульсно-периодических лазерах
Квантовая электроника, 12:5 (1985), 971–977
-
Установление стационарного уровня мощности в импульсно-периодическом эксимерном лазере
Квантовая электроника, 11:10 (1984), 2069–2073
-
Об увеличении частоты следования импульсов ХеСl-лазера до 1 кГц
Квантовая электроника, 11:4 (1984), 827–829
-
О причинах снижения мощности импульсно-периодического XeCl-лазера в процессе работы
Квантовая электроника, 10:11 (1983), 2336–2340
-
Об особенностях импульсно-периодического режима эксимерных лазеров
Квантовая электроника, 10:3 (1983), 540–546
© , 2026