RUS  ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ

Лопатин Алексей Яковлевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

  1. Формирование перспективных для электронно-лучевой и экстремально-ультрафиолетовой нанолитографии тонкопленочных резистивных материалов на основе оловоорганических оксокластеров

    ЖТФ, 96:2 (2026),  383–394
  2. Стенд для тестирования чувствительных к экстремальному ультрафиолетовому излучению фоторезистов

    ЖТФ, 94:8 (2024),  1323–1330
  3. Капсульная газонаполненная мишень для лазерно-плазменного экстремального ультрафиолетового источника

    ЖТФ, 94:7 (2024),  1174–1181
  4. Применение метода ионно-пучкового травления свободновисящих пленок для разработки пленочных корректоров экстремального ультрафиолетового диапазона длин волн

    ЖТФ, 94:7 (2024),  1029–1035
  5. Ускорение электронов при взаимодействии лазерных импульсов с твердотельными мишенями в режиме лазерного скребка

    Квантовая электроника, 54:1 (2024),  35–42
  6. Эмиссионные характеристики лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения с тонкопленочными мишенями

    ЖТФ, 93:7 (2023),  892–896
  7. Система визуализации плазменного факела бетатронного источника рентгеновского излучения

    ЖТФ, 92:8 (2022),  1202–1206
  8. Тонкопленочные Al-мишени для лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения

    ЖТФ, 92:8 (2022),  1199–1201
  9. Поиск прочных многослойных композиций свободновисящих фильтров с высоким коэффициентом пропускания в диапазоне длин волн “водного окна” (2.3–4.4 nm)

    ЖТФ, 92:8 (2022),  1130–1136
  10. Сравнительное исследование термостойкости пелликлов на основе бериллия

    ЖТФ, 92:1 (2022),  92–99
  11. Измерения абсолютных значений интенсивности излучения в диапазоне длин волн 6.6–32 nm мишени из нержавеющей стали при импульсном лазерном возбуждении

    ЖТФ, 91:10 (2021),  1448–1453
  12. Измерения абсолютных интенсивностей спектральных линий ионов Kr, Ar и O в диапазоне длин волн 10–18 нм при импульсном лазерном возбуждении

    Квантовая электроника, 51:8 (2021),  700–707
  13. Перспективы использования рентгеновских трубок с автоэмиссионным катодом и “прострельным” анодом в диапазоне мягкого рентгеновского излучения

    ЖТФ, 90:11 (2020),  1806–1816
  14. Эффективность генерации излучения в полосе 8–14 нм ионами криптона при импульсном лазерном возбуждении

    Квантовая электроника, 50:4 (2020),  408–413
  15. Исследование оптических, механических и термических свойств свободновисящих пленок на основе нанокомпозитных материалов MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$

    ЖТФ, 89:11 (2019),  1680–1685
  16. Лабораторный рефлектометр для исследования оптических элементов в диапазоне длин волн 5 – 50 нм: описание и результаты тестирования

    Квантовая электроника, 47:4 (2017),  385–392
  17. Свободновисящие пленочные структуры для лазерно-плазменных экспериментов

    Квантовая электроника, 43:4 (2013),  388–391
  18. Кремниевый фотодиод для экстремального ультрафиолетового диапазона спектра с селективным Zr/Si-покрытием

    Квантовая электроника, 42:10 (2012),  943–948
  19. Новые фокусирующие многослойные структуры для рентгеновской и вакуумно-ультрафиолетовой спектроскопии плазмы

    ЖТФ, 80:7 (2010),  105–110

  20. Дисперсионные элементы зеркального спектрометра на диапазон 7–30 nm

    ЖТФ, 93:7 (2023),  1002–1008


© МИАН, 2026