Мельников Сергей Николаевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Влияние способа подачи газов в камеру на процессы реактивного магнетронного распыления Ti–Al составной мишени
   
   ЖТФ, 93:3 (2023),  409–416
2. Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия
   
   ПФМТ, 2023, № 2(55),  74–82
3. Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру
   
   ПФМТ, 2022, № 3(52),  97–104
4. Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров
   
   ПФМТ, 2020, № 1(42),  12–17
5. Сегнетоэлектрические свойства пленок танталата стронция-висмута, нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления
   
   ПФМТ, 2018, № 1(34),  33–37
6. Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении
   
   ПФМТ, 2016, № 2(27),  12–17
7. Прогнозирование эрозии мишени магнетронных распылительных систем
   
   ПФМТ, 2010, № 2(3),  62–67