RUS  ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ

Голосов Дмитрий Анатольевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

  1. Влияние способа подачи газов в камеру на процессы реактивного магнетронного распыления Ti–Al составной мишени

    ЖТФ, 93:3 (2023),  409–416
  2. Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия

    ПФМТ, 2023, № 2(55),  74–82
  3. Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру

    ПФМТ, 2022, № 3(52),  97–104
  4. Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров

    ПФМТ, 2020, № 1(42),  12–17
  5. Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления

    ПФМТ, 2019, № 2(39),  15–20
  6. Сегнетоэлектрические свойства пленок танталата стронция-висмута, нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления

    ПФМТ, 2018, № 1(34),  33–37
  7. Сегнетоэлектрические свойства пленок легированного ниобием танталата стронция-висмута

    Физика твердого тела, 58:1 (2016),  51–55
  8. Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении

    ПФМТ, 2016, № 2(27),  12–17
  9. Совместное функционирование магнетронной распылительной системы и ионного источника на основе торцевого холловского ускорителя

    ЖТФ, 84:9 (2014),  66–73
  10. Синтез пленок титаната стронция золь–гель методом и перспективы их применения в электронной технике

    Физика и техника полупроводников, 48:12 (2014),  1724–1726
  11. Электрические и оптические свойства пленок оксида цинка, нанесенных методом ионно-лучевого распыления оксидной мишени

    Физика и техника полупроводников, 48:9 (2014),  1274–1279
  12. Прогнозирование эрозии мишени магнетронных распылительных систем

    ПФМТ, 2010, № 2(3),  62–67


© МИАН, 2026