Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении
ПФМТ, 2016, № 2(27), 12–17
-
Влияние процессов в факеле при лазерной абляции на удельное сопротивление и морфологию нанокристаллических пленок ZnO
Физика твердого тела, 57:10 (2015), 2037–2042
-
Электрические и оптические свойства пленок оксида цинка, нанесенных методом ионно-лучевого распыления оксидной мишени
Физика и техника полупроводников, 48:9 (2014), 1274–1279
-
Моделирование физико-технологических процессов в приповерхностном слое, при формировании микро и наноструктур электродинамическими воздействиями
ПФМТ, 2011, № 2(7), 31–37
-
Прогнозирование эрозии мишени магнетронных распылительных систем
ПФМТ, 2010, № 2(3), 62–67
© , 2026