|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Формирование перспективных для электронно-лучевой и экстремально-ультрафиолетовой нанолитографии тонкопленочных резистивных материалов на основе оловоорганических оксокластеров
ЖТФ, 96:2 (2026), 383–394
-
Двухзеркальный монохроматор для синхротрона “СКИФ” поколения 4+
ЖТФ, 95:10 (2025), 1963–1972
-
Фокусирующая система Киркпатрика–Баеза для синхротронных применений
ЖТФ, 95:10 (2025), 1954–1962
-
Установка ионно-пучковой коррекции и асферизации формы поверхности оптических элементов УИП-300
ЖТФ, 95:9 (2025), 1825–1835
-
Стенд для тестирования чувствительных к экстремальному ультрафиолетовому излучению фоторезистов
ЖТФ, 94:8 (2024), 1323–1330
-
Корреляционная экстремальная ультрафиолетовая, ультрафиолетовая и оптическая микроскопия на базе зеркального микроскопа с аксиальной томографией
ЖТФ, 94:8 (2024), 1302–1313
-
Многослойные зеркала на основе Cr/Ti для рентгеновской микроскопии “в окне прозрачности воды”
ЖТФ, 94:8 (2024), 1250–1259
-
Капсульная газонаполненная мишень для лазерно-плазменного экстремального ультрафиолетового источника
ЖТФ, 94:7 (2024), 1174–1181
-
Применение метода ионно-пучкового травления свободновисящих пленок для разработки пленочных корректоров экстремального ультрафиолетового диапазона длин волн
ЖТФ, 94:7 (2024), 1029–1035
-
Ускорение электронов при взаимодействии лазерных импульсов с твердотельными мишенями в режиме лазерного скребка
Квантовая электроника, 54:1 (2024), 35–42
-
Изучение угловых зависимостей скоростей ионно-пучкового распыления металлов для синтеза заготовок фотошаблонов
ЖТФ, 93:7 (2023), 1051–1053
-
Изучение влияния энергии ионов неона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния при ионном травлении
ЖТФ, 93:7 (2023), 1046–1050
-
Нанесение жидкого стекла на подложки оптических элементов и его молекулярный состав
ЖТФ, 93:7 (2023), 1037–1045
-
Внеосевой асферический коллектор для экстремальной ультрафиолетовой литографии и мягкой рентгеновской микроскопии
ЖТФ, 93:7 (2023), 963–967
-
Эмиссионные характеристики лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения с тонкопленочными мишенями
ЖТФ, 93:7 (2023), 892–896
-
Перспективы применения реактивного ионно-пучкового травления плавленого кварца смесью тетрафторметана и аргона для асферизации поверхности оптических элементов
ЖТФ, 92:8 (2022), 1248–1252
-
Алмаз-карбид-кремниевый композит “скелетон” как перспективный материал для подложек рентгенооптических элементов
ЖТФ, 92:8 (2022), 1238–1242
-
Модель физического распыления аморфных материалов
ЖТФ, 92:8 (2022), 1230–1237
-
Изучение влияния энергии ионов аргона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния
ЖТФ, 92:8 (2022), 1219–1223
-
Система визуализации плазменного факела бетатронного источника рентгеновского излучения
ЖТФ, 92:8 (2022), 1202–1206
-
Тонкопленочные Al-мишени для лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения
ЖТФ, 92:8 (2022), 1199–1201
-
Применение нанопорошков окиси церия для полировки кремния
ЖТФ, 91:10 (2021), 1588–1596
-
Линзовый корректор волнового фронта для изучения плоских поверхностей
ЖТФ, 91:10 (2021), 1583–1587
-
Изготовление и исследование зеркал с широкой полосой пропускания для синхротронных применений
ЖТФ, 91:10 (2021), 1524–1531
-
Измерения абсолютных значений интенсивности излучения в диапазоне длин волн 6.6–32 nm мишени из нержавеющей стали при импульсном лазерном возбуждении
ЖТФ, 91:10 (2021), 1448–1453
-
Солнечный телескоп вакуумного ультрафиолетового диапазона для наноспутников
ЖТФ, 91:10 (2021), 1441–1447
-
Измерения абсолютных интенсивностей спектральных линий ионов Kr, Ar и O в диапазоне длин волн 10–18 нм при импульсном лазерном возбуждении
Квантовая электроника, 51:8 (2021), 700–707
-
Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей
ЖТФ, 90:11 (2020), 1922–1930
-
Подготовка поверхности материалов для создания композитных оптических элементов
ЖТФ, 90:11 (2020), 1913–1916
-
Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar
ЖТФ, 90:11 (2020), 1864–1869
-
Перспективы использования рентгеновских трубок с автоэмиссионным катодом и “прострельным” анодом в диапазоне мягкого рентгеновского излучения
ЖТФ, 90:11 (2020), 1806–1816
-
Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения
УФН, 190:1 (2020), 74–91
-
Бериллий как материал для термостойких рентгеновских зеркал
ЖТФ, 89:11 (2019), 1686–1691
-
Моделирование процесса коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком
ЖТФ, 89:11 (2019), 1650–1655
-
Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением
Письма в ЖТФ, 42:16 (2016), 34–40
-
Рентгенооптическая система для получения изображения лазерного факела с пространственным разрешением до 70 нм
Квантовая электроника, 46:4 (2016), 347–352
-
Применение мягкого рентгеновского излучения для исследования сверхгладких оптических поверхностей и многослойных элементов
ЖТФ, 83:9 (2013), 134–142
-
Кремниевый фотодиод для экстремального ультрафиолетового диапазона спектра с селективным Zr/Si-покрытием
Квантовая электроника, 42:10 (2012), 943–948
-
Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов
УФН, 182:7 (2012), 727–747
-
Многослойные рентгеновские зеркала на основе La/B$_4$C и La/B$_9$C
ЖТФ, 80:8 (2010), 93–100
-
Дисперсионные элементы зеркального спектрометра на диапазон 7–30 nm
ЖТФ, 93:7 (2023), 1002–1008
© , 2026