RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Зайфарт X
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Моделирование и оптимизация оптических схем установок фотолитографии
Матем. моделирование
,
2
:1 (1990),
56–75
©
МИАН
, 2026