RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Щербов Н А
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
К вопросу однородности свойств CVD-пленок 4
H
-SiC
Физика и техника полупроводников
,
44
:7 (2010),
1002–1006
©
МИАН
, 2026