Герасимов Валерий Алексеевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Применение имплантации ионов кремния для формирования структурно-совершенных слоев кремния на сапфире
   
   Физика и техника полупроводников, 45:12 (2011),  1662–1666