RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Чамов Александр Анатольевич
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Особенности формирования рельефа при травлении кремния фокусированным ионным пучком
Письма в ЖТФ
,
36
:21 (2010),
38–45
©
МИАН
, 2026