RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Овчинников А А
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Рентгеноспектроскопическое исследование тонких пленок HfO
$_2$
, синтезированных на Si (100) методами ALD и MOCVD
ЖТФ
,
80
:7 (2010),
131–136
Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами
Письма в ЖТФ
,
36
:3 (2010),
53–59
©
МИАН
, 2026
