RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Халилуллин Рамис Ринатович
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Оптимизация процессов ионного травления в микро- и наноэлектронике путем воздействия на энергетический спектр ионов
ЖТФ
,
96
:1 (2026),
67–80
©
МИАН
, 2026
