RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Богоявленская (Бибик) Елена Александровна
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Формирование затворных структур типа W/HfO
$_2$
/Si магнетронным распылением
in situ
и быстрым термическим отжигом
ЖТФ
,
84
:5 (2014),
82–87
Влияние отжига на формирование high-
$k$
диэлектрика в системе W/ультратонкий HfO
$_2$
/Si-подложка
Письма в ЖТФ
,
38
:21 (2012),
48–55
©
МИАН
, 2026
