Медетов Нурлан Амирович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению
   
   Физика и техника полупроводников, 48:8 (2014),  1117–1122
2. Проблемы измерения параметров элементов и структур современной микро- и наноэлектроники на примере диффузионно-барьерных структур TiN/Ti
   
   Письма в ЖТФ, 39:14 (2013),  34–42
3. Особенности формирования рельефа при травлении кремния фокусированным ионным пучком
   
   Письма в ЖТФ, 36:21 (2010),  38–45