Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Электрофизические свойства многослойной структуры SiC–Si
Физика и техника полупроводников, 48:6 (2014), 814–817
-
Изучение влияния пористой подложки SiO$_2$ на свойства пленок Al$_2$O$_3$ с помощью рентгеновской рефлектометрии
Письма в ЖТФ, 38:12 (2012), 24–29
-
Рентгеноспектроскопическое исследование тонких пленок HfO$_2$, синтезированных на Si (100) методами ALD и MOCVD
ЖТФ, 80:7 (2010), 131–136
-
Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами
Письма в ЖТФ, 36:3 (2010), 53–59
© , 2026