Емельянов Виктор Викторович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Феноменологическая модель травления металлического покрытия в плазме газовой смеси
   
   ПФМТ, 2023, № 4(57),  69–73
2. Моделирование влияния инфракрасного излучения на фазовый состав покрытий диоксида кремния
   
   ПФМТ, 2023, № 3(56),  64–68
3. Моделирование плазмохимического травления функционального слоя нитрида кремния на подслое диоксида кремния в технологиях микроэлектроники
   
   ПФМТ, 2023, № 3(56),  60–63