RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Платонов Роман Андреевич
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Распределение давления газовой среды в распылительной системе ионно-плазменного осаждения
Письма в ЖТФ
,
50
:4 (2024),
31–33
Моделирование процесса реактивного магнетронного распыления металлической (ванадиевой) мишени в высокомощном импульсном режиме
Письма в ЖТФ
,
50
:2 (2024),
40–43
Ионно-плазменное осаждение многокомпонентных пленок с заданным законом распределения состава по толщине
Письма в ЖТФ
,
49
:4 (2023),
28–30
Ионно-плазменное осаждение оксидных пленок с измененным стехиометрическим составом: эксперимент и моделирование
Письма в ЖТФ
,
42
:14 (2016),
87–93
©
МИАН
, 2026