RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Ивин С В
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Влияние атомарных пучков кремния и германия на кинетику роста слоев Si
$_{1-x}$
Ge
$_{x}$
в методе Si–GeH
$_{4}$
молекулярно-пучковой эпитаксии
ЖТФ
,
87
:3 (2017),
427–437
Вакуумная гидридная эпитаксия кремния: кинетика пиролиза моносилана на ростовой поверхности
Физика и техника полупроводников
,
45
:4 (2011),
566–575
©
МИАН
, 2026