RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Егоров Н Н
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Влияние твердофазной рекристаллизации с двойной имплантацией на плотность структурных дефектов в ультратонких слоях кремния на сапфире
Физика твердого тела
,
61
:12 (2019),
2349–2354
Механизмы дефектообразования и рекристаллизации в пленках кремния на сапфире при ионном облучении
Физика и техника полупроводников
,
48
:4 (2014),
535–538
Формирование ультратонких слоев кремния на сапфире
Письма в ЖТФ
,
38
:19 (2012),
83–89
Распределение электрического поля в
$p$
–
$n$
-переходах кремниевых детекторов с торцевой чувствительностью
Физика и техника полупроводников
,
45
:9 (2011),
1282–1289
©
МИАН
, 2026