Феклистов Константин Викторович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Перераспределение атомов отдачи эрбия и кислорода и структура тонких приповерхностных слоев кремния, созданных высокодозной имплантацией аргона через поверхностные пленки Er и SiO$_{2}$
   
   Физика и техника полупроводников, 52:13 (2018),  1589–1596
2. Легирование кремния эрбием методом имплантации атомов отдачи
   
   Письма в ЖТФ, 41:16 (2015),  52–60
3. Преципитация бора в Si при высокодозной имплантации
   
   Физика и техника полупроводников, 44:3 (2010),  302–305