Фадеев Алексей Владимирович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Модель термического окисления кремния
   
   ЖТФ, 89:4 (2019),  620–626
2. Атомно-слоевое осаждение тонких пленок на 3$D$-наноструктуры: влияние наклона стенок и аспектного отношения тренчей
   
   ЖТФ, 88:10 (2018),  1573–1580
3. Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения тонких пленок на стенки цилиндрических отверстий с высоким аспектным отношением
   
   ЖТФ, 88:8 (2018),  1264–1272