RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Морозов Владимир Сергеевич
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Высокоэффективный источник электронов с полым катодом для технологий осаждения тонких пленок и обработки поверхностей при форвакуумных давлениях
ЖТФ
,
88
:6 (2018),
914–919
©
МИАН
, 2026