Шемардов Сергей Григорьевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Имплантация ионов кремния в сапфир: малые дозы
   
   Физика и техника полупроводников, 54:8 (2020),  766–770
2. Создание центров рекомбинации носителей зарядов в сапфировой подложке КНС-структур
   
   Физика и техника полупроводников, 49:8 (2015),  1124–1128
3. Исследование рекристаллизации KHC-структур при разных энергиях аморфизирующего пучка ионов
   
   Физика и техника полупроводников, 47:2 (2013),  264–266
4. Рекристаллизация с границы раздела кремний-сапфир как новый метод получения структурно совершенных пленок кремния на сапфировой подложке
   
   Физика и техника полупроводников, 44:10 (2010),  1433–1435
5. Высокотемпературная ионная имплантация мышьяка в кремний
   
   Физика и техника полупроводников, 24:6 (1990),  1132–1133
6. Исследование распределения аморфной и кристаллической фазы ионно-синтезированного SiC в Si
   
   Физика и техника полупроводников, 22:4 (1988),  731–732