|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Двухзеркальный монохроматор для синхротрона “СКИФ” поколения 4+
ЖТФ, 95:10 (2025), 1963–1972
-
Фокусирующая система Киркпатрика–Баеза для синхротронных применений
ЖТФ, 95:10 (2025), 1954–1962
-
Установка ионно-пучковой коррекции и асферизации формы поверхности оптических элементов УИП-300
ЖТФ, 95:9 (2025), 1825–1835
-
Корреляционная экстремальная ультрафиолетовая, ультрафиолетовая и оптическая микроскопия на базе зеркального микроскопа с аксиальной томографией
ЖТФ, 94:8 (2024), 1302–1313
-
Использование морфометрических величин при изучении рельефа поверхности рентгенооптических элементов
ЖТФ, 93:7 (2023), 1059–1068
-
Изучение угловых зависимостей скоростей ионно-пучкового распыления металлов для синтеза заготовок фотошаблонов
ЖТФ, 93:7 (2023), 1051–1053
-
Изучение влияния энергии ионов неона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния при ионном травлении
ЖТФ, 93:7 (2023), 1046–1050
-
Внеосевой асферический коллектор для экстремальной ультрафиолетовой литографии и мягкой рентгеновской микроскопии
ЖТФ, 93:7 (2023), 963–967
-
Перспективы применения реактивного ионно-пучкового травления плавленого кварца смесью тетрафторметана и аргона для асферизации поверхности оптических элементов
ЖТФ, 92:8 (2022), 1248–1252
-
Алмаз-карбид-кремниевый композит “скелетон” как перспективный материал для подложек рентгенооптических элементов
ЖТФ, 92:8 (2022), 1238–1242
-
Модель физического распыления аморфных материалов
ЖТФ, 92:8 (2022), 1230–1237
-
Изучение влияния энергии ионов аргона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния
ЖТФ, 92:8 (2022), 1219–1223
-
Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей
ЖТФ, 90:11 (2020), 1922–1930
-
Моделирование процесса коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком
ЖТФ, 89:11 (2019), 1650–1655
© , 2026