Специальность ВАК: 05.27.01 (твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах)

Основные темы научной работы:

плазменные процессы травления технологии микроэлектроники, микро- и наносистемной техники.

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

Персональные страницы:

• 
• 

Организации:

• Ярославский филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института РАН