Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Ионный синтез структур кремний на изоляторе" со свинцово-силикатным изолирующим слоем
Письма в ЖТФ, 47:14 (2021), 47–50
-
Формирование затворных структур типа W/HfO$_2$/Si магнетронным распылением in situ и быстрым термическим отжигом
ЖТФ, 84:5 (2014), 82–87
-
Формирование и методика исследования ультратонких слоев силицида кобальта в структурах Ti/Co/Ti, TiN/Ti/Co и TiN/Co на кремнии
ЖТФ, 82:2 (2012), 122–128
-
Влияние отжига на формирование high-$k$ диэлектрика в системе W/ультратонкий HfO$_2$/Si-подложка
Письма в ЖТФ, 38:21 (2012), 48–55
-
Особенности формирования CoSi$_2$ при двухстадийном быстром термическом отжиге структур Ti/Co/Ti/Si(100)
Письма в ЖТФ, 37:3 (2011), 36–44
© , 2026