Кузьменко Виталий Олегович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Оптимизация процессов ионного травления в микро- и наноэлектронике путем воздействия на энергетический спектр ионов
   
   ЖТФ, 96:1 (2026),  67–80
2. Исследование индуктивно-связанной плазмы пониженного давления CF$_{3}$Br методами зонда Ленгмюра и оптической эмиссионной спектроскопии
   
   Письма в ЖТФ, 47:2 (2021),  52–54