|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
CVD-алмазные структуры с $p$–$n$-переходом — диоды и транзисторы
ЖТФ, 95:3 (2025), 540–548
-
Исследование фото- и электролюминесценции центров окраски, связанных с азотом, в алмазном $p$–$i$–$n$-диоде
Письма в ЖТФ, 51:10 (2025), 48–51
-
Электролюминесценция центров окраски германий–вакансия в алмазном $p$–$i$–$n$-диоде
Письма в ЖТФ, 51:8 (2025), 3–6
-
Невплавные омические контакты с пониженным сопротивлением к эпитаксиальным слоям алмаза $p$- и $n$-типа и их термическая стабильность
Физика и техника полупроводников, 58:8 (2024), 409–414
-
Электрофизические свойства многослойных пленок алмазоподобного углерода с различным содержанием $sp^3$-фазы
Письма в ЖТФ, 50:17 (2024), 30–33
-
Термический отжиг многослойных пленок алмазоподобного углерода с варьируемым содержанием $sp^3$-фазы
Письма в ЖТФ, 50:13 (2024), 12–15
-
Плазмохимическое осаждение гидрогенизованных пленок DLC с различным содержанием водорода и $sp^3$-гибридного углерода
Физика и техника полупроводников, 57:5 (2023), 309–312
-
Обработка поверхности арсенида галлия после травления в плазме C$_2$F$_5$Cl
Письма в ЖТФ, 49:19 (2023), 39–42
-
Проектирование дизайна туннельно-связанных квантовых ям для создания модулятора по схеме Маха–Цендера
Физика и техника полупроводников, 56:9 (2022), 833–838
-
Влияние параметров индуктивно-связанной плазмы хлорпентафторэтана на скорость и характеристики травления арсенида галлия
Физика и техника полупроводников, 56:7 (2022), 685–688
-
Влияние добавки хлорпентафторэтана в составе хлорсодержащей плазмы на скорость и характеристики профиля травления арсенида галлия
Физика и техника полупроводников, 55:10 (2021), 837–840
-
Особенности газофазной эпитаксии GaAs на непланарных подложках
Физика и техника полупроводников, 54:9 (2020), 958–961
-
Формирование омических контактов к слою алмазоподобного углерода, осажденному на диэлектрическую алмазную подложку
Физика и техника полупроводников, 54:9 (2020), 865–867
-
Модификация соотношения $sp^2/sp^3$-гибридного углерода в PECVD пленках DLC
Физика и техника полупроводников, 54:9 (2020), 855–858
-
Анализ углеродсодержащих материалов методом вторично-ионной масс-спектрометрии: содержание атомов углерода в $sp^{2}$- и $sp^{3}$-гибридных состояниях
Письма в ЖТФ, 46:6 (2020), 38–42
-
Плазмохимическое осаждение алмазоподобных пленок на поверхности монокристаллического высоколегированного алмаза
Физика и техника полупроводников, 53:9 (2019), 1229–1232
-
Новый подход к анализу фазового состава углеродсодержащих материалов методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии
Письма в ЖТФ, 45:2 (2019), 50–54
-
Плазмохимическое травление арсенида галлия в индуктивно-связанной плазме C$_{2}$F$_{5}$Cl
Физика и техника полупроводников, 52:11 (2018), 1362–1365
-
Низкотемпературное осаждение пленок SiN$_{x}$ в индуктивно-связанной плазме SiH$_{4}$/Ar + N$_{2}$ в условиях сильного разбавления силана аргоном
Физика и техника полупроводников, 51:11 (2017), 1503–1506
-
Слои Si$_3$N$_4$ для in situ пассивации транзисторных структур на основе GaN
Физика и техника полупроводников, 49:11 (2015), 1469–1472
© , 2026