|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Структурные изменения в пленках кремний-на-изоляторе нанометровой толщины при высокотемпературном отжиге
Физика и техника полупроводников, 56:3 (2022), 320–327
-
Диффузия германия из захороненного слоя SiO$_2$ и формирование фазы SiGe
Физика и техника полупроводников, 56:2 (2022), 192–198
-
Диффузия атомов In в пленках SiO$_{2}$, имплантированных ионами As$^{+}$
Физика и техника полупроводников, 55:3 (2021), 217–223
-
Свойства структуры и оптических фононов в нанокристаллах InSb, синтезированных в Si и SiO$_{2}$
Физика и техника полупроводников, 55:1 (2021), 59–68
-
Диффузия и взаимодействие In и As, имплантированных в пленки SiO$_{2}$
Физика и техника полупроводников, 53:8 (2019), 1023–1029
-
Комбинационное рассеяние света в сферических нанокристаллах InSb, ионно-синтезированных в пленках оксида кремния
Физика и техника полупроводников, 53:4 (2019), 502–507
-
Анодное окисление слоев кремний-на-изоляторе, созданных методом водородного переноса
Физика и техника полупроводников, 53:2 (2019), 253–257
-
Энергия связи пластин кремния и сапфира при повышенных температурах соединения
Физика и техника полупроводников, 53:1 (2019), 65–69
-
Ионный синтез кристаллической фазы Ge в пленках SiO$_{x}$N$_{y}$ при отжиге под высоким давлением
Физика и техника полупроводников, 52:2 (2018), 280–284
-
Диффузионно-контролируемый рост нанокристаллов Ge в пленках SiO$_{2}$ в условиях ионного синтеза под высоким давлением
Физика и техника полупроводников, 51:10 (2017), 1414–1419
-
Особенности ионно-лучевого синтеза нанокристаллов Ge в тонких пленках SiO$_{2}$
Физика и техника полупроводников, 51:9 (2017), 1289–1294
-
Природа оранжевой (2 эВ) фотолюминесценции в пленках SiO$_2$, имплантированных большими дозами ионов Si$^+$
Физика и техника полупроводников, 49:9 (2015), 1212–1216
-
Эффект гидростатического давления в процессе отжига пленок кремния на изоляторе, имплантированных большими дозами ионов водорода
Физика и техника полупроводников, 48:10 (2014), 1339–1343
-
Ионный синтез нанокристаллов InSb в захороненном слое SiO$_2$ структуры кремний-на-изоляторе
Физика и техника полупроводников, 48:9 (2014), 1228–1233
-
Кристаллизация пленок кремний-на-изоляторе, имплантированных большими дозами ионов водорода, под действием термических миллисекундных импульсов
Физика и техника полупроводников, 47:5 (2013), 591–597
-
Квантово-размерный эффект в пленках кремний-на-изоляторе, имплантированных большими дозами ионов водорода
Физика и техника полупроводников, 46:10 (2012), 1309–1313
-
Анодное окисление нанометровых слоев Si в структурах кремний-на-изоляторе
Физика и техника полупроводников, 45:8 (2011), 1121–1125
-
Структуры кремний-на-изоляторе с азотированным захороненным слоем SiO$_2$: метод создания и свойства
Физика и техника полупроводников, 45:3 (2011), 335–342
-
Восходящая диффузия примеси при ионном облучении нагретого кремния:
численное моделирование
Физика и техника полупроводников, 26:11 (1992), 1977–1982
-
Рост монокристаллического $\alpha\text{-Si}_{3}\text{N}_{4}$ в захороненных слоях, полученных низкоинтенсивной имплантацией ионов N$^{+}$ в нагретый кремний
Физика и техника полупроводников, 26:8 (1992), 1390–1393
© , 2026