Перекалов Александр Алексеевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Формирование перспективных для электронно-лучевой и экстремально-ультрафиолетовой нанолитографии тонкопленочных резистивных материалов на основе оловоорганических оксокластеров
   
   ЖТФ, 96:2 (2026),  383–394
2. Радиальное распределение излучающих центров в лазерной плазме Ar
   
   ЖТФ, 95:9 (2025),  1647–1655
3. Экспериментальный стенд для изучения характеристик мощных лазерно-плазменных источников ЭУФ излучения
   
   ЖТФ, 95:9 (2025),  1639–1646
4. Расчетное и экспериментальное определение длины лазерной искры в газоструйных мишенях
   
   ЖТФ, 95:7 (2025),  1289–1296
5. Поглощение энергии лазерного излучения в лазерно-плазменном источнике излучения с газоструйными мишенями
   
   ЖТФ, 95:7 (2025),  1283–1288
6. Стенд для тестирования чувствительных к экстремальному ультрафиолетовому излучению фоторезистов
   
   ЖТФ, 94:8 (2024),  1323–1330
7. Капсульная газонаполненная мишень для лазерно-плазменного экстремального ультрафиолетового источника
   
   ЖТФ, 94:7 (2024),  1174–1181
8. Эмиссионные характеристики лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения с тонкопленочными мишенями
   
   ЖТФ, 93:7 (2023),  892–896
9. Исследование эмиссионных спектров Cl-, Br-, I-содержащих мишеней в спектральном диапазоне 3–6.5 нм при возбуждении импульсным лазерным излучением
   
   Квантовая электроника, 53:5 (2023),  425–429
10. Перспективы применения реактивного ионно-пучкового травления плавленого кварца смесью тетрафторметана и аргона для асферизации поверхности оптических элементов
    
    ЖТФ, 92:8 (2022),  1248–1252
11. Система визуализации плазменного факела бетатронного источника рентгеновского излучения
    
    ЖТФ, 92:8 (2022),  1202–1206
12. Тонкопленочные Al-мишени для лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения
    
    ЖТФ, 92:8 (2022),  1199–1201
13. Исследование эмиссионных свойств газоструйных мишеней в “водном окне прозрачности” 2.3–4.4 nm при импульсном лазерном возбуждении
    
    ЖТФ, 92:8 (2022),  1185–1191
14. Эмиссионные спектры жидкоструйных мишеней гексана C$_6$Н$_{14}$, дихлорметана CH$_2$Cl$_2$, бромистого метилена CH$_3$Br в диапазоне 4–20 nm при импульсном лазерном возбуждении
    
    Оптика и спектроскопия, 130:7 (2022),  991–995
15. Эмиссионные спектры молекулярных газов CHF$_3$, CCl$_2$F$_2$, SF$_6$ в диапазоне 3–20 nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней
    
    Оптика и спектроскопия, 130:2 (2022),  217–223
16. Измерения абсолютных значений интенсивности излучения в диапазоне длин волн 6.6–32 nm мишени из нержавеющей стали при импульсном лазерном возбуждении
    
    ЖТФ, 91:10 (2021),  1448–1453
17. Эмиссионные спектры молекулярных газов N$_{2}$ и CO$_{2}$ в диапазоне 3–20 nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней
    
    Оптика и спектроскопия, 129:6 (2021),  755–759
18. Эмиссионные спектры тяжелых инертных газов Kr, Xe в диапазоне 3–20 nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней
    
    Оптика и спектроскопия, 129:3 (2021),  266–271
19. Эмиссионные спектры легких инертных газов Ne и Ar в диапазоне 3–20 nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней
    
    Оптика и спектроскопия, 129:2 (2021),  146–152
20. Измерения абсолютных интенсивностей спектральных линий ионов Kr, Ar и O в диапазоне длин волн 10–18 нм при импульсном лазерном возбуждении
    
    Квантовая электроника, 51:8 (2021),  700–707
21. Эмиссионные свойства лазерной плазмы при ее возбуждении на молекулярно-кластерных струях углекислоты
    
    ЖТФ, 89:11 (2019),  1656–1662
22. Наблюдение лазерной искры на скачке уплотнения в газоструйной мишени
    
    Письма в ЖТФ, 45:19 (2019),  14–16


23. Дисперсионные элементы зеркального спектрометра на диапазон 7–30 nm
    
    ЖТФ, 93:7 (2023),  1002–1008